»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î D·¥¿¡ EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇØ ¾ç»ê üÁ¦¸¦ °®Ãè´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇØ »ý»êÇÑ 1¼¼´ë(1x) 10³ª³ë±Þ DDR4(Double Data Rate 4) D·¥ ¸ðµâ 100¸¸°³ ÀÌ»óÀ» °ø±ÞÇÏ¿© ±Û·Î¹ú °í°´ÀÇ Æò°¡¸¦ ¿Ï·áÇß´Ù.
ÀÌ·Î½á »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¸Þ¸ð¸® ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î Â÷¼¼´ë D·¥ Á¦Ç°ºÎÅÍ ‘EUV °øÁ¤’À» Àü¸é Àû¿ëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ ÇѰ踦 µ¹ÆÄÇÒ Ã¤ºñ¸¦ °®Ãß°í D·¥ÀÇ »õ·Î¿î Æз¯´ÙÀÓÀ» Á¦½ÃÇß´Ù.
EUV ³ë±¤ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇϸé ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ÀÛ¾÷À» ¹Ýº¹ÇÏ´Â ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´×(Multi-Patterning) °øÁ¤À» ÁÙÀÌ¸é¼ ÆÐÅÍ´× Á¤È®µµ¸¦ ³ôÀÌ°Ô µÇ¾î ¼º´É°ú ¼öÀ²À» Çâ»ó½ÃÅ°°í Á¦Ç° °³¹ß ±â°£À» ´ÜÃàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÇöÀç EUV °øÁ¤À¸·Î 14³ª³ë Ãʹݴë '4¼¼´ë 10³ª³ë±Þ(1a) D·¥ ¾ç»ê ±â¼ú'À» °³¹ßÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÇâÈÄ Â÷¼¼´ë Á¦Ç°ÀÇ Ç°Áú°ú ¼öÀ²µµ ±âÁ¸ °øÁ¤ Á¦Ç° ÀÌ»óÀ¸·Î Çâ»ó½Ãų ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
EUV¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¸¸µç 4¼¼´ë 10³ª³ë±Þ(1a) D·¥Àº 1¼¼´ë 10³ª³ë±Þ(1x) D·¥º¸´Ùµµ 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ´ç »ý»ê¼ºÀ» 2¹è ³ô¿© »ç¾÷ °æÀï·ÂÀ» ´õ¿í °ÈÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ³»³â¿¡ ¼º´É°ú ¿ë·®À» ´õ¿í ³ôÀÎ 4¼¼´ë 10³ª³ë±Þ(1a) D·¥(DDR5, LPDDR5)À» ¾ç»êÇÏ°í 5¼¼´ë, 6¼¼´ë D·¥µµ ¼±Çà °³¹ßÇØ ÇÁ¸®¹Ì¾ö ¸Þ¸ð¸® ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» ´õ¿í °ÈÇØ ³ª°£´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù.
ÇÑÆí, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ³»³âºÎÅÍ DDR5/LPDDR5 D·¥ ½ÃÀåÀÇ º»°Ý È®´ë¿¡ ¸ÂÃç ±Û·Î¹ú IT °í°´°ú ±â¼úÇù·ÂÀ» °ÈÇÏ°í ¾÷ü°£ ´Ù¾çÇÑ Ç¥ÁØÈ È°µ¿À» ÃßÁøÇØ Â÷¼¼´ë ½Ã½ºÅÛ¿¡¼ ½ÅÁ¦Ç° žÀç ºñÁßÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³ô¿© ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
/¹Ú³²¼ö±âÀÚ pns111300@naver.com
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © YBC¿¬ÇÕ¹æ¼Û, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>